크린룸시스템
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기류방식
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기류방식
Clean Room 방식은 원칙적으로는 실내의 기류에 따라
비층류(Non Laminal Air Flow) 방식과 선형층류(Laminar Air Flow) 방식으로 나눈다.
다시 그 공법에 의하여 현장 시공의 항구적인 시설인 축조형, 공장 조립에 의하여 프레하프형, 이동 가능한 유니트형으로 나눌 수 있다.
방식의 선정에 있어서는 요구되는 청정도, 운전관리, 설비비등의 검토가 필요하다.
최근의 경향으로서는 상기방식을 적당히 서로 맞춘 것을 채용되는 일이 많다. (Clean Booth/ Bench 外)
비층류 방식
비층류 방식의 크린룸은 난류방식이라고도 불려지는 것으로서 일반적인 공조설비에 HEPA Filter를 사용하므로서 청정공간을 얻을수 있는 것이다.
이 방식은 실내의 기류가 흩어져 소용돌이가 발생하여 실내에서 발생한 미립자는 공기중으로 날려 올라가서 희석되어 배출되게 된다.
그 때문에 높은 청정도를 유지하는 것은 어렵게 되어 그 청정도는 미국연방 209E 에서 말하는 Class 10,000-100,000으로 되어 있다.
수직층류 방식
수직층류 방식은 천정 전면에 부착시킨 HEPA Filter층으로부터 바닥의 격자면을 통하여 청정공기를 수직으로 흘려보내는 것이다.
이 방식은 실내에서 발생한 미립자는 바로 하류로 이동하여 천정면의 조명기구 및 실내의 기구등 때문에 완전한 층류 상태라고는 말할 수 없지만
미립자를 제거하는 데는 대단히 유효한 방법이며, Class 100을 유지할 수 있다.
천정면에서의 분출하는 풍속은 0.5m/s로 하며 환기회수는 200-200회/H 이상으로 된다. 그 때문에 Return 공기의 일부를 공기 조화기에 되돌려
가급적 많은 공기를 순환시켜 운전비의 절감을 도모하는 일이 많다. 실내로 배출되기때문에 비층류 방식과 같이 실내에 체류, 축적되는 일은 없다.
수평층류 방식
수평층류 방식은 벽면에 부착된 HEPA Filter층으로부터 반대측의 벽면을 향하여 청정 공기를 수평으로 이동하게 하는 것이다.
HEPA Filter층의 바로 하류의 일차작업 위치에서 벽면에서의 분출하는 풍속은 0.5m/s로 하며 환기횟수는 200-300회/H 이상으로 된다.
그 때문에 수직층류 방식과 같이 크린룸 내부의 공기를 순환시키는 방식이 많이 사용된다.
Class100의 청정도가 얻어질 수 있지만 하류에 갈수록 상류에서 발생한 오염물의 영향으로 고농도가 되는 경우가 있다.
변용 방식
변용 방식은 경제적인 비층류 방식과 높은 청정도를 얻을 수 있는 층류 방식을 절충한 방식이다.
이것은 생산활동에 필요한 최소한의 공간만을 높은 청정도를 유지하는 것으로 비층류방식의 크린룸에 Filter unit와 Clean Booth를
연속적으로 장치하여 국부적으로 층류상태로 하여 높은 청정도를 얻는 방식이다. 작업대 위에서는 Class 100이지만 기타의 공간에서는
Class 10,000정도가 적당한 것으로 되어 있다.
기류방식별 장점과 단점.
